|
|
|
|
|
|
|
Постановление Министерства труда Республики Беларусь от 28.05.1999 N 68 "Об утверждении Единого тарифно-квалификационного справочника работ и профессий рабочих (ЕТКС, выпуски 14-й и 20-й)"(текст документа по состоянию на январь 2010 года. Архив) обновление Стр. 23 Характеристика работ. Скрайбирование пластин кремния, ниобата лития на отдельные чипы на автоматах с программным управлением типа ЭМ-2055, KS-918. Скрайбирование пластин, содержащих несколько видов кристаллов с различным шагом разделения. Разделение пластин на чипы различной конфигурации: прямоугольные, трапециевидные, в виде параллелограмма. Рифление пластин ниобата лития для образования канавок заданной конфигурации, под определенным углом к сторонам кристалла с заданным шагом, шириной, глубиной. Формирование пакета для разделения на автоматах типа ЭМ-2008. Выбор необходимого типа алмазного диска для сквозного разделения в зависимости от материала пластин, диаметра и толщины их, для рифления пластин ниобата лития в зависимости от требуемой конфигурации канавок рифления. Выбор и установка программ мойки, поиска точек распознавания элементов конструкции кристалла для разделения и совмещения линии реза со скрайберной дорожкой в страницы программного обеспечения автоматов. Обслуживание автоматов разделения в соответствии с управляющей программой. Корректировка программ в процессе работы по результатам контрольных тестов глубины реза, ширины дефектной зоны, параметров рифления, качества отмывки. Контроль качества разделения и отмывки, параметров рифления. Должен знать: принцип действия и правила обслуживания автоматов формирования пакетов, разделения; методику установки управляющих программ в соответствии с заданными параметрами скрайбирования, рифления и мойки; терминологию параметров разделения на английском языке при обслуживании автоматов типа KS-918; методы контроля глубины, ширины канавок рифления и дефектной зоны, качества скрайбирования, отмывки и других заданных параметров; способы корректировки управляющих программ по результатам контрольных тестов; виды дефектов при формировании пакетов, разделении и рифлении пластин и методы их устранения. § 69. ФОТОГРАФ ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 3-й разряд Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере, фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов и фотошаблонов односторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки для эмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическая печать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробного и тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах. Приготовление растворов для обработки фотослоя. Должен знать: устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования; устройство и технические данные фотокамеры, режимы экспонирования, проявления и фиксации; основные сведения по фотохимии, оптике, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования. Примеры работ. 1. Диэлектрик-металл-полупроводник и малые интегральные схемы - изготовление эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов; изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов. 2. Негативы штриховые - контактная печать на фотобумаге. 3. Фотопластины - проявление на основе эмульсии сухого коллодиона. 4. Фотошаблоны односторонних печатных плат - изготовление. 5. Фотошаблоны пленочные - изготовление с белков. § 70. ФОТОГРАФ ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 4-й разряд Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/-50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин и фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор, настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопа. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин. Должен знать: методы настройки обслуживаемого оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов; свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие сведения по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами. Примеры работ. 1. Двухсторонние несложные оригиналы - настройка фотокамеры на необходимый масштаб и резкость, экспонирование (фотографирование). 2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные) - проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок; изготовление эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов; подготовка металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации; изготовление металлизированных эталонных и рабочих фотошаблонов; исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере. 3. Пленочные мультиплицированные фотошаблоны - изготовление. § 71. ФОТОГРАФ ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 5-й разряд Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов, пленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностью совмещения до 20 мкм, пленочных многослойных печатных плат. Выбор метода обработки фотоматериалов. Подбор режимов и проведение технологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок. Выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов. Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечатку проекционных рабочих и эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений с помощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне. Должен знать: устройство и способы проверки на точность различных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографической обработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений, фотоштампов, методы устранения имеющихся отклонений; характеристики методов сканирования и фотонабора; общие назначения управляющих программ; погрешности изображения в оптических системах; технические требования на изготавливаемые изделия; возможные виды брака и методы его устранения. Примеры работ. 1. Аппаратура, узлы, детали контактных приборов с полутоновым изображением - контактное печатание фотоснимков, фотографирование для технической документации. 2. Групповые фотошаблоны плат, подлежащие обработке на штампах - изготовление. 3. Металлизированные эталонные и рабочие фотошаблоны изделий БИС, СБИС - изготовление. 4. Полутоновые негативы на фотопластинках и фотопленках - обработка. 5. Сложные, эмульсионные, металлизированные, пленочные промежуточные оригиналы и фотошаблоны - изготовление и контроль качества. 6. Таблицы телевизионные испытательные - изготовление рабочих негативов и позитивов по 2-му классу точности. § 72. ФОТОГРАФ ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 5-й разряд Характеристика работ. Изготовление особо сложных фотошаблонов, эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов. Самостоятельный подбор необходимой аппаратуры, режимов изготовления, контрольно-измерительных приборов, светочувствительного материала и химикатов. Определение и коррекция режимов фотохимического и фотолитографического процессов для получения мелкоструктурных негативных, диапозитивных и позитивных изображений с соблюдением геометрических форм в пределах заданного класса точности. Должен знать: устройство, принципы работы, способы и правила проверки прецизионных фотокамер всех типов, генераторов изображений, фотоштампов; основы прецизионной фотолитографии; назначение, устройство и правила эксплуатации контрольно-измерительной и светотехнической аппаратуры и приборов; рецептуру растворов для фотохимического процесса; режимы фотолитографической и фотохимической обработки. Примеры работ. 1. Металлизированные промежуточные оригиналы особо сложных изделий - проведение экспресс-контроля, подготовка к мультипликации. 2. Таблицы телевизионные испытательные - изготовление рабочих негативов по 1-му классу точности. 3. Твердые схемы - изготовление комплекта совмещаемых фотошаблонов с размножением свыше 100 модулей по рабочему полю. 4. Фотошаблоны пленочные - полный цикл изготовления с использованием различных фотоматериалов; изготовление технических фотографий на разных типах фотобумаги. Требуется среднее специальное (профессиональное) образование. § 73. ФОТОГРАФ ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 7-й разряд Характеристика работ. Изготовление особо сложных рабочих и эталонных фотошаблонов, эмульсионных и промежуточных шаблонов для проекционной и контактной литографии в требуемом масштабе изображения и максимальной смножительности (сложности). Выбор маршрута изготовления с учетом точностных характеристик оборудования, фотоматериалов, методов фотолитографической обработки. Корректировка технологических параметров литографического процесса по данным анализа. Должен знать: устройство и точностные характеристики обслуживаемого оборудования; основы литографии и влияние параметров обработки на качественные характеристики изготавливаемых изделий; общие сведения об ЭВМ, используемых на генераторах и мультипликаторах; методы сбора, анализа и обработки данных о ходе процесса; свойства используемых материалов и заготовок и способы проведения экспресс-контроля их характеристик. Примеры работ. 1. Комплекты совмещающихся рабочих шаблонов пониженной дефектности при количестве "слоев" в комплексе более 10 - подготовка к мультипликации и изготовление. 2. Комплекты совмещаемых сверхсложных промежуточных шаблонов при количестве "слоев" в комплекте более 10 - изготовление. Требуется среднее специальное (профессиональное) образование. § 74. ШЛИФОВЩИК-ПОЛИРОВЩИК ПО ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 2-й разряд Характеристика работ. Грубое шлифование пластин на станках или вручную абразивными порошками и на шлифовальных кругах. Закрепление пластин на шлифовальном столике с помощью наклеечных материалов или на вакуумном столе. Снятие их с последующей промывкой. Приготовление абразивной суспензии из микропорошков. Должен знать: принцип действия обслуживаемого оборудования; способ подготовки к работе шлифовального диска; правила приготовления клеящей мастики и способы ее отмывки; марки применяемых абразивных материалов; технологию отмучивания микропорошков. § 75. ШЛИФОВЩИК-ПОЛИРОВЩИК ПО ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 3-й разряд Характеристика работ. Шлифование пластин и изделий на станках или вручную абразивными порошками и на шлифовальных кругах до заданной чистоты поверхности и толщины. Замер толщины шлифуемых пластин. Приготовление абразивной суспензии из микропорошков. Настройка станка на заданный размер. Выбор режима обработки. Наблюдение в процессе работы за исправностью оборудования. Установка, замена и правка шлифовальных кругов. Доводка плоскости шлифовальника станка. Предупреждение и устранение брака. Должен знать: устройство, принцип действия и правила эксплуатации станков и приспособлений для шлифования; способы наладки оборудования на заданный размер шлифования; методы и способы механического и ручного шлифования; технологию изготовления клеящих мастик и способы их отмывки; марки применяемых абразивных материалов и их основные свойства; правила пользования измерительным инструментом (микрометры, индикаторные головки и др.); маркировку шлифовальных кругов, способы правки их; методику измерения параметров шлифовальных изделий; требования к чистоте поверхности после шлифования; механические свойства германия, кремния, арсенида галлия и др. Примеры работ. 1. Лампы титанокерамические - притирка на станке воротничков сетки абразивными порошками. 2. Пластины - шлифование с точностью +/-15 мкм. § 76. ШЛИФОВЩИК-ПОЛИРОВЩИК ПО ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 4-й разряд Характеристика работ. Шлифование пластин вручную тонкими абразивными порошками и на алмазных кругах, а также тонкими микропорошками на шлифовальных станках. Полировка пластин с точностью +/-10 мкм на полировальных станках. Приготовление шлифующей и полировальной суспензий из абразивных микропорошков и минеральных масел. Подготовка станков и оснастки для точной шлифовки и полировки. Проверка неплоскостности и непараллельности шлифовальника. Контроль и регулировка режимов обработки. Правка алмазного инструмента. Замер торцевого биения шлифовальника. Определение качества обработки. Обнаружение и предупреждение брака. Должен знать: устройство, принцип действия и правила эксплуатации применяемого оборудования; свойства полупроводниковых материалов; правила обозначения допусков на чертежах; основные свойства алмазных микропорошков; способы определения качества поверхности притирного шлифовального диска; методы измерения параметров шлифования и полирования; требования, предъявляемые к чистоте поверхности и геометрической форме обрабатываемых пластин; виды и причины брака. Примеры работ. 1. Пластины - шлифование абразивными микропорошками М40, М28; полирование микропорошком М5. 2. Пластины кремния - чистое шлифование алмазными шлифовальными кругами с отклонением толщины +/-5 мкм. § 77. ШЛИФОВЩИК-ПОЛИРОВЩИК ПО ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 5-й разряд Характеристика работ. Шлифовка (полировка) пластин пастами, алмазными кругами, тонкими микропорошками с точностью +/-5 мкм. Шлифовка (полировка) опытных образцов пластин. Полировка алмазными пастами и микропорошками. Химико-механическое полирование пластин окисью кремния, безабразивным составом и окисью циркония на мягком шлифовальнике (замшевом). Приготовление суспензии из различных порошков, алмазных паст, минеральных масел, органических кислот, бензина. Доводка оправки и проверка ее неплоскостности с помощью лекальной линейки. Обезжиривание пластин органическими растворителями (бензином). Выбор рациональных режимов обработки. Определение качества обработанной поверхности. Одновременное обслуживание двух станков. Должен знать: режим работы и способы проверки на точность различных моделей оборудования; способы дозировки химических компонентов для химико-механической полировки; основные физико-механические свойства полупроводниковых материалов; правила пользования высокоточными контрольно-измерительными приборами; методы подбора микропорошков для достижения заданной чистоты обработки; правила посадки пластин. Примеры работ. 1. Пластины - шлифование связанными алмазами на станках алмазной шлифовки (САШ-420; СПШ-1; МШ-259). 2. Пластины (германий, кремний, арсенид галлия); пластины галлий-гадолиниевого граната - полировка субмикронными алмазными порошками. § 78. ШЛИФОВЩИК-ПОЛИРОВЩИК ПО ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 6-й разряд Характеристика работ. Тонкая шлифовка (полировка) пластин и особо точных деталей на станках различных типов. Полировка с применением синтетических полировальных материалов и оптических смол. Полировка с применением оптического контакта. Выбор режимов шлифовки (полировки) и состава суспензии. Доводка сепараторов на станках двухсторонней шлифовки. Выявление причин и устранение неисправностей обслуживаемого оборудования. Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования; способы установки, крепления и выверки особо сложных деталей; методы определения последовательности обработки; способы подготовки смолы и приготовления защитного лака для полировки с применением оптического контакта; природу образования нарушенных слоев в шлифованных и полированных пластинах; виды брака и методы его обнаружения и устранения. Примеры работ. 1. Пластины - двухсторонняя шлифовка, полировка. 2. Пластины - полировка на смоле окисью хрома (величина зерна не более 1 мкм). § 78а. ШЛИФОВЩИК-ПОЛИРОВЩИК ПО ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 7-й разряд Характеристика работ. Ведение процесса двухсторонней шлифовки (полировки) кремниевых пластин с повышенными требованиями к геометрическим параметрам (прогиб, клин, толщина, неплоскостность и др.) и качеству поверхности на рабочей и нерабочей сторонах пластин. Двухсторонняя полировка пластин толщиной 490 мкм. Ведение процессов шлифовки диффузионно-кремниевых структур с жесткими требованиями по съему диффузионного слоя связанными алмазами и полировка алмазными пастами с повышенными требованиями к качеству поверхности, в том числе пластин со сложным профилем кромки. Доводка сепараторов из стали и текстолита и оправок на станках. Выбор режимов обработки. Приготовление суспензии. Контроль параметров обработки пластин специальным инструментом. Выявление причин и устранение неисправностей обслуживаемого оборудования. Должен знать: устройство, принцип действия и правила эксплуатации оборудования для обработки кремниевых пластин; основные свойства применяемых материалов для шлифовки и полировки пластин; методы подбора рациональных режимов обработки; правила пользования специальным измерительным инструментом; методы входного контроля в объеме требований технической документации; основы физики, химии полупроводников, кристаллографии. Требуется среднее специальное (профессиональное) образование. § 79. ЭМУЛЬСИРОВЩИК ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 2-й разряд Характеристика работ. Приготовление несложных растворов. Отмывка стекол от загрязнений. Фильтрование растворов через фильтры различного вида. Приготовление раствора желатина. Нанесение эмульсии на отдельные небольшие участки стекла, к которому не предъявляются высокие требования. Установление режимов работы ванн отмывки. Должен знать: устройство и правила эксплуатации сушильных шкафов и центрифуг; правила обращения с эмульсиями; требования, предъявляемые к подложкам; правила работы с кислотами и щелочами. § 80. ЭМУЛЬСИРОВЩИК ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 3-й разряд Характеристика работ. Приготовление сложных растворов. Нанесение подслоя и эмульсии на полированные поверхности стекла. Приготовление эмульсий с высокой разрешающей способностью (до 700 лин/мм), пригодных для изготовления фотошаблонов. Охлаждение и сушка эмульсии. Должен знать: конструкцию и правила эксплуатации специальных холодильников, сушильных шкафов, центрифуг и специальных поливных устройств; режим обработки эмульсий; основные требования, предъявляемые к эмульсии и подслою; правила работы с концентрированными кислотами и щелочами. § 81. ЭМУЛЬСИРОВЩИК ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ 4-й разряд Характеристика работ. Нанесение эмульсии определенной толщины на полированную поверхность стекла. Подготовка и сушка коллоксилина. Приготовление фотопластин на основе сухого коллодиона с разрешающей способностью 800 - 1000 лин/мм. Выполнение работ, связанных с замерами на рН-метре. Проверка качества растворов, дистиллированной и деионизированной воды. Должен знать: конструкцию и правила эксплуатации установок для приготовления растворов и полива пластин; свойства растворов; требования, предъявляемые к эмульсии и качеству фотопластин. ПЕРЕЧЕНЬ НАИМЕНОВАНИЙ ПРОФЕССИЙ РАБОЧИХ, ПРЕДУСМОТРЕННЫХ НАСТОЯЩИМ РАЗДЕЛОМ, С УКАЗАНИЕМ ИХ НАИМЕНОВАНИЙ ПО ДЕЙСТВОВАВШЕМУ ВЫПУСКУ И РАЗДЕЛУ ЕТКС ИЗДАНИЯ 1986 Г. ---+------------------+--------+-----------------+--------+-------+----------------- ¦ ¦ ¦ Наименование ¦ ¦ ¦ ¦ Наименование ¦ ¦профессий рабочих¦ ¦ Номер ¦ Сокращенное N ¦профессий рабочих,¦Диапазон¦по действовавшему¦Диапазон¦выпуска¦ наименование п/п¦ помещенных в ¦разрядов¦выпуску и разделу¦разрядов¦ ЕТКС ¦ раздела ¦настоящем разделе ¦ ¦ЕТКС издания 1986¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ г. ¦ ¦ ¦ ---+------------------+--------+-----------------+--------+-------+----------------- 1 ¦ 2 ¦ 3 ¦ 4 ¦ 5 ¦ 6 ¦ 7 ---+------------------+--------+-----------------+--------+-------+----------------- 1. Аппаратчик 3 - 5 Аппаратчик 3 - 5 20 Полупроводниковое восстановления восстановления производство полупроводниковых полупроводниковых материалов материалов 2. Аппаратчик по 3 - 6 Аппаратчик по 3 - 6 20 То же выращиванию выращиванию монокристаллов и монокристаллов и лент лент 3. Аппаратчик по 4 - 5 Аппаратчик по 4 - 5 20 -"- обслуживанию обслуживанию рекуператоров и рекуператоров и системы охлаждения системы охлаждения 4. Аппаратчик по 3 - 5 Аппаратчик по 3 - 5 20 -"- получению получению высокочистых высокочистых материалов для материалов для полупроводникового полупроводниковог производства о производства 5. Аппаратчик по 2 - 6 Аппаратчик по 3 - 6 20 -"- производству и производству и химической химической обработке очистке полупроводниковых полупроводниковых материалов материалов Аппаратчик по 2 - 4 20 -"- химической обработке полупроводниковых материалов 6. Заварщик 2 - 4 Заварщик 2 - 4 20 -"- полупроводниковых полупроводниковых приборов приборов 7. Координатографист 1 - 5 Координатографист 1 - 5 20 -"- прецизионной прецизионной фотолитографии фотолитографии 8. Монтажник 2 - 4 Монтажник 2 - 4 20 -"- микромодулей микромодулей 9. Оператор вакуумно- 3 - 8 Оператор 2 - 6 20 -"- напылительных вакуумно- процессов напылительных процессов 10. Оператор 3 - 7 Оператор 2 - 6 20 -"- диффузионных диффузионных процессов процессов 11. Оператор 4 - 7 Оператор 4 - 6 20 -"- микросварки микросварки 12. Оператор 4 - 7 Оператор 4 - 6 20 -"- плазмохимических плазмохимических процессов процессов 13. Оператор по 3 - 8 Оператор по 3 - 6 20 -"- наращиванию наращиванию  |  |
|
|
|